半導(dǎo)體芯片檢測(cè)顯微鏡

微分干涉金相顯微鏡(晶圓金相顯微鏡）：DMM-1200C 一、微分干涉金相顯微鏡儀器的主要用途和特點(diǎn)     DMM-1200微分干涉金相顯微鏡（DIC)采用優(yōu)質(zhì)的無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，微分干涉相襯顯微鏡適用于對(duì)多種物體的顯微觀察。配置落射DIC觀察系統(tǒng)與透射照明系統(tǒng)、無限遠(yuǎn)長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡、大視野目鏡和偏光觀察裝置，具有圖像立體感且清晰、操作方便等特點(diǎn)，是生物學(xué)、金屬學(xué)、礦物學(xué)、精密工程學(xué)、電子學(xué)等研究的理想儀器，可選用微分干涉（DIC）觀測(cè)、獲得高清晰的圖像，使圖像襯度更好,是針對(duì)半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)、太陽能硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的，作為工業(yè)金相顯微鏡使用;可進(jìn)行明場(chǎng)觀察、落射偏光、DIC觀察，廣泛用于工廠、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對(duì)太陽能電池硅片、半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)、電路基板、FPD、精密模具的檢測(cè)分析。    DMM-1200C微分干涉金相顯微鏡是將的光學(xué)顯微鏡技術(shù)、優(yōu)良的光電轉(zhuǎn)換技術(shù)、數(shù)碼成像技術(shù)緊密地結(jié)合在一起而開發(fā)研制成功的理想產(chǎn)品。既可人工觀察金相圖像,又可以在數(shù)碼相機(jī)上很方便地適時(shí)觀察金相圖像，并可隨時(shí)拍攝記錄金相圖片,從而對(duì)金相圖譜進(jìn)行分析,評(píng)級(jí)等,還可以保存或打印出高像素金相照片。     二、大平臺(tái)微分干涉金相顯微鏡儀器的主要技術(shù)指標(biāo) 金相顯微鏡組件及規(guī)格 光學(xué)系統(tǒng) 無窮遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng) 主機(jī) DMM-1200倒置金相顯微鏡主機(jī) 目鏡 大視野 WF10X(Φ22mm) WF15X(Φ16mm) WF20X(Φ12mm) 平場(chǎng)分劃 10X/Φ20mm(0.10mm/格值) 物鏡 無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)消色差   放大倍數(shù)/數(shù)值孔徑 有效工作距離 PL5X/0.12 26.1 PLL10X/0.25 20.2 PLL20X/0.4 8.8 PLL40X/0.6 3.98 目鏡筒 三目鏡 鉸鏈?zhǔn)剑瑑A斜30度，分光比：觀察80% 攝影20%；或觀察100% 攝影100% 濾片組 全系列濾色片 物鏡轉(zhuǎn)換器 五孔物鏡轉(zhuǎn)換器 調(diào)焦機(jī)構(gòu) 同軸粗微動(dòng)調(diào)焦機(jī)構(gòu),帶鎖緊和限位裝置, 調(diào)焦范圍30mm 微動(dòng)格值0.8μm 載物臺(tái) 臺(tái)面尺寸：280mm*270mm; 移動(dòng)范圍：橫向（X）204mm，縱向（Y）204mm 照明系統(tǒng) 落射照明12V/50W，鹵素?zé)簦行摹⒘炼冗B續(xù)可調(diào) 微分干涉 可使用于5X、10X、20X 三、大平臺(tái)微分干涉金相顯微鏡系統(tǒng)的組成 1、金相顯微鏡DMM-1200　　　　　　 　　　   2、數(shù)碼適配鏡 3、彩色數(shù)碼相機(jī) 4、計(jì)算機(jī)（選購(gòu)） 四、大平臺(tái)微分干涉金相顯微鏡選購(gòu)部分 1.金相分析軟件 五 、大平臺(tái)微分干涉金相顯微鏡同類儀器的比較 1、DMM-1200C電腦微分干涉顯微鏡 2、DMM-1200D數(shù)碼微分干涉顯微鏡   六、大平臺(tái)微分干涉金相顯微鏡相關(guān)設(shè)備 金相設(shè)備 金相拋光機(jī) 金相切割機(jī) 金相砂紙 金相切割片 金相鑲嵌機(jī) 金相預(yù)磨機(jī) 顯微硬度計(jì) 端淬試驗(yàn)機(jī)

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